Ecopia HMS-3000霍爾效應(yīng)測試儀
霍爾效應(yīng)測試儀主要用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)、導(dǎo)電類型等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測試儀是理解和研究半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、 可靠的精度及重現(xiàn)性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍設(shè)置，將可以接收的誤差降到；范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲；軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì)，確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測試的平均值，使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性。
2、 產(chǎn)品小型化及操作簡單化
小尺寸的磁場強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測量系統(tǒng)(77K)，確保儀器操作非常簡單；兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm、10*10mm)及帶彈簧夾頭的樣品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測量，區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小。
3、 I-V曲線及I-R曲線測量
采用圖表的方式，測量探針?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系，并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性。
 

產(chǎn)品組成：
主機(jī)(精密恒電流源+范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器) / 磁體包(包括樣品板) / 軟件等。

 
[HMS-3000軟件界面一]

[HMS-3000軟件界面二(I-V和I-R曲線測量)]

產(chǎn)品規(guī)格：
1、 主要儀器參數(shù) 
輸入電流：1nA ~ 20mA；
電阻率：10^_-5 ~ 10⁷ Ω.cm；
載流子濃度：10⁷ ~ 10²¹ cm^-3；
遷移率：1 ~ 10⁷ cm²/Volt.sec；
磁場強(qiáng)度：0.37T,  0.51T,  1T,  0.25~1T變場磁體；
樣品測量板：PCB樣品板，SPCB彈簧樣品板，晶圓樣品板等；
樣品尺寸：5mmX5mm  ~ 20mmX20mm (可選配30mm或2inch大樣品板)；
測量溫度：常溫，77K液氮浴；
2、 軟件操作環(huán)境 
XP / Win7 / Win8 / Win10環(huán)境下
3、 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
體載流子濃度、表面載流子濃度；
遷移率;
霍爾系數(shù)；
電阻率, 方塊電阻；
磁致電阻；
電阻的縱橫比率；
4、 儀器尺寸和重量